Гироскопы, наряду с компасами, широко применяются для решения задач навигации. Принцип работы гироскопов основан на эффекте ускорения Кориолиса. Устройства измеряют угловую скорость вращающихся объектов.
Преимущества:
Область применения:
Компания Robert Bosch является известным производителем MEMS гироскопов для автомобильных электронных систем курсовой стабилизации. На рынке потребительской электроники гироскопы используются в системах навигации, стабилизации изображения и игровых приставках.
Конструктивно датчик имеет два основных блока: кристалл измерительного элемента и кристалл обрабатывающей микросхемы. Чувствительный элемент производится по технологии микрообработки и представляет собой колеблющуюся поликремниевую массу, нанесенную на пластину в условиях вакуума с осью чувствительности, находящейся в плоскости кристалла. Угловая скорость в плоскости кристалла определяется по емкостным параметрам, как и в механическом гироскопе. Под воздействием электростатической силы поликремниевая масса приводится во вращательные колебания вокруг своей центральной точки. Управляющее колебание стабилизируется электроникой микросхемы. Благодаря симметрии измерительного элемента и только одной центральной точки подвеса, датчик малочувствителен к поступательному ускорению.
Благодаря сохранению углового момента, угловая скорость в плоскости кристалла вызывает ударные ускорения в полимерной массе, которые находятся уже в другой плоскости. Встроенные электроды определяют емкостные параметры этих внеплоскостных ускорений.