Конструкция датчиков расхода газа включает чувствительный элемент, выполненный на кристалле кремния, схему обработки и нормализации сигнала на том же кристалле и пластмассовый корпус со штуцерами для подключения к магистрали. Датчики расхода газа не имеют подвижных частей и основаны на термоанемометрическом принципе работы.
Микромостовой чувствительный кремниевый элемент измеряет теплоту потока воздуха или газа, проходящего через измерительную камеру датчика. Т.о., встроенный нагревательный элемент должен обеспечивать постоянную температуру в диапазоне +160°С, которая соотносится с более низкой температурой потока измеряемого газа. Датчики выпускаются как со встроенными цепями управления нагревателем, так и с внешними. Кроме того, линейка датчиков включает модели со встроенной схемой усиления выходного сигнала (1…5 В) и без усилителя (в диапазоне до 30 мВ). Лазерная настройка сопротивлений терморезисторов, расположенных на мосте, гарантирует полную взаимозаменяемость датчиков без дополнительной калибровки.
Датчики расхода газа предназначены для работы в среде различных газов (водород, гелий, азот, воздух и др.) в широком диапазоне температур. При использовании газов с разной теплоемкостью вводится поправочный коэффициент. Измеряемый диапазон расхода газа может быть расширен посредством введения обходного канала для потока газа.
