Компания Honeywell предлагает полную линейку датчиков давления газов и воздуха, которые работают в средах, совместимых с кремниевой диафрагмой, для измерения абсолютного, дифференциального (датчики перепада давлений) и относительного (избыточного) давления, включая датчики с измерением давления относительно вакуума и двунаправленного давления. Благодаря своей компактности, возможности выбора типа монтажа (проводной и пайка на плату) и небольшой стоимости такие датчики давления широко применяются в различных индустриальных приложениях.
Тензочувствительный элемент датчиков давления состоит из двух пьезорезисторов, расположенных на краю диафрагмы и двух, расположенных на более плотном участке кристалла. Вместе они образуют мостовую схему. Под действием давления в мембране возникают изгибающие напряжения, которые приводят к изменению сопротивления и разбалансировке моста. Данное напряжение рассогласования прямо пропорционально приложенному давлению.
Датчики давления газа (воздуха) могут иметь встроенную схему усиления сигнала, при этом выходной сигнал, пропорциональный измеряемому напряжению, будет иметь вольтовое значение. Выходной сигнал датчиков давления, не имеющих схему усиления, находится в мВ диапазоне.
Измерение давления с помощью дифрагмы всегда предполагает измерение разницы давления на двух ее сторонах. В зависимости от эталонного давления, с которым сравнивается измеряемое давление, различают следующие типы датчиков:
1. Абсолютное давление (absolute). Измерения относительно герметичного, часто разреженного объема. |
|||
1 |
2 |
3 |
Датчики с пьезорезистивной диафрагмой, которые не имеют защиту от воздействий окружающей среды.
Датчики давления с усилителем выходного сигнала